[VIP第1年] 指数:3
某revolution生物医学研究机构致力于开发快速、precise的疾病诊断技术。在研发一种用于早期tumor筛查的微流体诊断芯片时，采用了德国 Polos 光刻机。利用其无掩模激光光刻技术，科研团队成功制造出拥有复杂微通道网络的芯片。这些微通道能精确控制生物样本与检测试剂的混合及反应过程，极大提高了检测的灵敏度和准确性。以往使用传统光刻技术制备此类芯片，不only周期长，且精度难以保证。而 Polos 光刻机使制备周期缩短了近三分之一，助力该机构在tumor早期诊断研究上取得重大突破，相关成果已发表在国际authority医学期刊上。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。能源收集：微型压电收集器效率 35%，低频振动发电支持无源物联网。黑龙江BEAM-XL光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
某材料实验室利用 Polos 光刻机的亚微米级图案化能力，在铝合金表面制备出仿荷叶结构的超疏水涂层。其激光直写技术在 20μm 间距的微柱阵列上叠加 500nm 的纳米脊，使材料表面接触角达 165°，滚动角小于 3°。该涂层在海水环境中浸泡 30 天后，防腐蚀性能较未处理表面提升 10 倍。其灵活的图案编辑功能还支持在同一样品上实现超疏水与超亲水区域的任意组合，被用于微流控芯片的液滴定向输运，液滴驱动电压降低至传统方法的 1/3。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。辽宁德国BEAM光刻机光源波长405微米技术Benchmark：Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品，推动无掩模光刻技术普及。
Polos-BESM XL Mk2专为6英寸晶圆设计，写入区域达155×155 mm，平台双向重复性精度0.1 µm，满足工业级需求。其搭载20x/0.75 NA尼康物镜和120 FPS高清摄像头，支持实时观测与多层对准。配套的BEAM Xplorer软件简化了复杂图案设计流程，内置高性能笔记本电脑实现快速数据处理，成为微机电系统（MEMS）和光子晶体研究的理想工具。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。
SPS POLOS µ以桌面化设计降低设备投入成本，无需掩膜制备费用。其光束引擎通过压电驱动快速扫描，单次写入区域达400 µm，支持光刻胶如AZ5214E的高效曝光。研究案例显示，该设备成功制备了间距3 µm的微图案阵列和叉指电容器，助力纳米材料与柔性电子器件的快速原型验证。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。Polos-BESM 光刻机：无掩模激光直写，50nm 精度，支持金属 / 聚合物同步加工，适配第三代半导体器件研发。
在构建肝脏芯片的血管化网络时，某生物工程团队使用 Polos 光刻机实现了跨尺度结构制备。其无掩模技术在 200μm 的主血管与 5μm 的blood capillary间precise衔接，血管内皮细胞贴壁率达 95%，较传统光刻提升 30%。通过输入 CT 扫描的真实肝脏血管数据，芯片成功模拟门静脉与肝窦的血流梯度，使肝细胞功能维持时间从 7 天延长至 21 天。该技术为药物肝毒性测试提供了接近体内环境的模型，某制药公司使用后将候选药物筛选周期缩短 40%，相关成果登上《Lab on a Chip》封面。微流体3D成型：复杂流道快速曝光，助力tumor筛查芯片与药物递送系统研发。黑龙江BEAM-XL光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
6英寸晶圆兼容：Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工，工业级重复精度0.1 µm。黑龙江BEAM-XL光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
一所高校的电子工程实验室专注于新型传感器的研究。在开发一款超灵敏压力传感器时，面临着如何在微小尺寸上构建高精度电路图案的难题。德国 Polos 光刻机的引入解决了这一困境。其可轻松输入任意图案进行曝光的特性，让研究人员能够根据传感器的特殊需求，设计并制作出独特的电路结构。通过 Polos 光刻机precise的光刻，成功制造出的压力传感器，灵敏度比现有市场产品提高了两倍以上。该成果已获得多项patent，并吸引了多家科技企业的关注，有望实现产业化应用，为可穿戴设备、智能机器人等领域带来新的发展机遇。黑龙江BEAM-XL光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
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